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SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級(jí)可靠性測(cè)試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測(cè)。

MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤，標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺(tái)分度，為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟(jì)高效且易于使用的解決方案。晶圓級(jí)可靠性測(cè)試需求。這些半自動(dòng)探針臺(tái)有三種選擇（標(biāo)準(zhǔn)，高精度和高速）。

LCS-4000系列分析探針臺(tái)配有激光切割系統(tǒng) 帶有集成激光切割系統(tǒng)的LCS-4000探針臺(tái)為用戶提供了半導(dǎo)體診斷切割，失效分析，修整，標(biāo)記和頂層去除的大靈活性。所有這些功能都可以在微觀層面上進(jìn)行，所有這些都在這一系統(tǒng)上進(jìn)行，這提供了非常易于使用的高水平性能。

A4P四點(diǎn)探針自動(dòng)電阻率測(cè)繪系統(tǒng) A4P系列晶圓電阻率映射器使用經(jīng)過驗(yàn)證的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可以快速，準(zhǔn)確，可靠地測(cè)量樣品電阻率分布。MicroXact的四點(diǎn)探針通過使電流通過四點(diǎn)探頭的外部點(diǎn)并測(cè)量?jī)?nèi)部點(diǎn)的電壓來測(cè)量半導(dǎo)體晶圓層的平均電阻。然后可以通過將薄層電阻乘以薄膜的厚度來找到電阻率的值，即賦予其電阻的材料的性質(zhì)。

ossila四點(diǎn)探針臺(tái)是一款易于使用的工具，用于快速測(cè)量材料的薄層電阻，電阻率和電導(dǎo)率。 通過使用我們自己的源測(cè)量單元，我們能夠創(chuàng)建一個(gè)低成本的系統(tǒng)，使測(cè)量范圍更廣泛。 探頭采用彈簧加載接觸，而不是尖銳的針頭，防止損壞精密樣品，如厚度在納米左右的聚合物薄膜。

經(jīng)濟(jì)高效，穩(wěn)定，可靠，方便的改善在極低的真空和溫度下對(duì)器件和電路的探測(cè)。內(nèi)置振動(dòng)隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，*密封性，使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應(yīng)用，如石墨烯的研究，分子電子學(xué)等的，系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機(jī)和專有的熱管理，可以經(jīng)濟(jì)快速的操作。內(nèi)置的隔振Z小化振動(dòng)符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。超穩(wěn)定的微操縱滿足設(shè)備探針*的準(zhǔn)確和可重復(fù)的接觸。