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SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動探針臺，設(shè)計靈活且易于使用。這些手動探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達200mm的晶圓功能，DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項，我們的探針臺可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測試，IV / CV測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。

隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用MicroXact的半自動探針臺進行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù)，以識別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級可靠性測試之后可以進行進一步的和廣泛的故障分析。 系統(tǒng)構(gòu)建在一個重型，通用的平臺上，能夠配置為處理各種探測應(yīng)用。

SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺，設(shè)計靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。

MicroXact的半自動探針臺提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤，標準或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺分度，為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇（標準，高精度和高速）。

LCS-4000系列分析探針臺配有激光切割系統(tǒng) 帶有集成激光切割系統(tǒng)的LCS-4000探針臺為用戶提供了半導(dǎo)體診斷切割，失效分析，修整，標記和頂層去除的大靈活性。所有這些功能都可以在微觀層面上進行，所有這些都在這一系統(tǒng)上進行，這提供了非常易于使用的高水平性能。

A4P四點探針自動電阻率測繪系統(tǒng) A4P系列晶圓電阻率映射器使用經(jīng)過驗證的行業(yè)標準，可以快速，準確，可靠地測量樣品電阻率分布。MicroXact的四點探針通過使電流通過四點探頭的外部點并測量內(nèi)部點的電壓來測量半導(dǎo)體晶圓層的平均電阻。然后可以通過將薄層電阻乘以薄膜的厚度來找到電阻率的值，即賦予其電阻的材料的性質(zhì)。